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技術(shù)文章

雙溫區(qū)真空管式爐操作規(guī)程

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一、開(kāi)機(jī)

1. 打開(kāi)電源。

2. 打開(kāi)控氣柜電源開(kāi)關(guān),預(yù)熱15min,將流量顯示儀調(diào)零。

二煉氣

1. 放置四個(gè)管堵,安裝法蘭。

2. 左右溫區(qū)均以3oC/min升溫至150 oC,保溫30min,加熱的同時(shí)抽真空,抽真空時(shí),法蘭將抽氣針閥打開(kāi)一點(diǎn),待真空壓力表降至-0.05 MPa時(shí),分三個(gè)階段*打開(kāi)(約3圈)針閥,至-0.1 MPa保持30min。

三、氣體置換

1. 關(guān)閉抽氣口法蘭上的針閥,打開(kāi)氣瓶約至0.04MPa以下,打開(kāi)氣柜上進(jìn)氣閥Tv1orTv2,同時(shí)觀察氣柜上的P1orP2壓力,打開(kāi)排氣閥Tv3,再打開(kāi)進(jìn)氣口法蘭上的針閥

2. 打開(kāi)MFC1or2至閥控位置,緩慢調(diào)節(jié)“設(shè)定"旋鈕至最大(1000ml/min),當(dāng)法蘭真空壓力表達(dá)到0.01MPa時(shí),關(guān)閉其上針閥,調(diào)節(jié)流量為0,打開(kāi)抽氣口針閥,抽氣至-0.1MPa,再關(guān)閉抽氣口針閥。

3. 再二次打開(kāi)進(jìn)氣口針閥,緩慢開(kāi)流量至最大,真空壓力表至0.01MPa,關(guān)閉進(jìn)氣口針閥,調(diào)節(jié)流量為0,打開(kāi)抽氣口針閥,抽至-0.1MPa,再關(guān)閉抽氣口針閥,完成二次氣體置換。

4. 根據(jù)需要重復(fù)氣體置換(步驟3),一般三次,關(guān)閉真空泵。

四、實(shí)驗(yàn)

1. 充入0.01MPa保護(hù)性氣體,關(guān)閉進(jìn)氣口針閥,等爐溫降至室溫,打開(kāi)抽氣口法蘭,取出兩個(gè)管堵。

2. 放入樣品至熱電偶位置,放入兩個(gè)管堵至要求位置,安裝法蘭。

3. 確認(rèn)抽氣口針閥為關(guān)閉狀態(tài),打開(kāi)真空泵,再緩慢打開(kāi)針閥,真空壓力表降至-0.05MPa,分階段*打開(kāi)針閥至-0.01MPa,關(guān)閉抽氣口針閥,關(guān)閉真空泵。

4. 打開(kāi)進(jìn)氣口針閥,調(diào)節(jié)氣柜流量至最大,使真空壓力表達(dá)0.01MPa,打開(kāi)抽氣口針閥對(duì)外排氣,根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求調(diào)節(jié)流量,一般為100ml/min。

5. 兩側(cè)同時(shí)設(shè)定升溫程序,溫差不能超過(guò)300 oC。

6. 工作結(jié)束,降至室溫,取出樣品,再放入管堵,安裝法蘭。

7. 關(guān)閉進(jìn)氣口針閥,打開(kāi)真空泵,抽至-0.01 MPa,充入0.01MPa保護(hù)氣體,關(guān)閉進(jìn)氣口針閥。

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